凈化板對(duì)車間有什么作用

2021-01-25 00:00:00

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凈化車間的主要功能是控制產(chǎn)品(如硅片等)所在大氣的潔凈度、溫度和濕度。)接觸，讓產(chǎn)品在和諧的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造，我們稱之為凈化車間。按照國(guó)際慣例，無(wú)塵凈化等級(jí)主要是根據(jù)每立方米空氣中粒徑大于判別標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來(lái)調(diào)節(jié)的。也就是說(shuō)，所謂無(wú)塵，并不是說(shuō)完全沒有灰塵，而是控制在很少量的單位內(nèi)。當(dāng)然，這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見的粉塵來(lái)說(shuō)是非常小的，但是就光學(xué)版圖而言，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)粉塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響，所以在光學(xué)版圖產(chǎn)品的生產(chǎn)中，凈化車間需要做到無(wú)塵。粒徑小于0.3微米的粉塵顆粒數(shù)量控制在每立方米3500個(gè)以下，達(dá)到國(guó)際無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)的A級(jí)。當(dāng)時(shí)芯片級(jí)生產(chǎn)加工應(yīng)用的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)是高于A級(jí)的，這樣高的標(biāo)準(zhǔn)主要應(yīng)用于一些更高級(jí)的芯片生產(chǎn)。5μm以下的粉塵量嚴(yán)格控制在每立方米1000以內(nèi)，也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級(jí)。